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vol.77 [ 2012.April ]
低地球温暖化係数ガスによるSiO2、SiNのエッチング
4A10 超臨界流体の小角散乱－「相関距離」を超えて－
事業原簿
プロジェクトの概要説明 - 新エネルギー・産業技術総合開発機構
プロジェクトの詳細説明 - 新エネルギー・産業技術総合開発機構
「SF6 等に代替するガスを利用した電子デバイス製造 クリーニング
