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As 注入と SiN 応力膜による poly-Si への歪記憶の検討
直線偏光 Nd:YAG レーザーを用いた 2 次元規則性配列微細シリコン
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デバイス製造・検査装置
極薄ゲート酸化膜 poly-Si TFT の作製・評価
