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装置一覧（PDF）はこちら - マイクロシステム融合研究開発センター
料金表 - マイクロ化総合技術センター
試作コインランドリのメインとなる2階クリーンルーム
試作コインランドリ主要装置リスト・料金表.
スライド 1
成膜（CVD、スパッタ、蒸着他）
東北 学マイクロシステム融合研究開発センター 試作コインランドリ 主要
