ダウンロード

RF-MEMS スイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発

扇形圧電振動子を用いたインホイール薄型マイクロ超音波モータ

扇形圧電振動子を用いたインホイール薄型マイクロ超音波モータ

簡易音圧センサの研究と製作2

簡易音圧センサの研究と製作2

圧電素子のご提案書

圧電素子のご提案書