:消化器
S
装置配置図
B1F
:消火栓
:CR酸素濃度表示
:自吸式呼吸器
昼夜連続運転機器
:緊急警報
警
報
ブ
ザ
ー
自吸式呼吸器
S
制御電源
サーモバック
マスクレスナノ構造
形成装置
(エリオニクス)
プラズマリアクタ
UVO3クリーナー
電気炉
5-001
スピンコーター
(RC8)
ドラフト
冷蔵庫
保管棚
プラズマ
CVD
RTO
酸化炉
UV露光
装置
5-002
レーザ顕微鏡
ドラフト
電子ビーム
露光装置
(S-4300)
S
有機
S
コンプレッサ
(廃液回収用)
用役室
電子ビーム
蒸着
明暗視野 光干渉式 触針式
膜厚計 膜厚計
顕微鏡
MZ50
搬
入
口
前室
更衣室
ダムウエーター
真空ポンプ
コンプレッサ
(各種機器用)
エリプソメータ
作業台
シングルイオン
注入装置
レジスト アルカリ
保管庫
有機
無機 スピンコータ
(ミカサ)
エア
シャワー
酸
廃液保管庫
CCP
RIE
用役機械室
空調機械室
超純水
DEEP ICP
RIE
薬品庫
O2
2006.3.2現在
Ar
N2
2m
物
品
一
時
保
管
庫
1F 装置配置図
:消火栓
昼夜連続運転機器
:消化器
S
S
危険物一時保管庫
警
報
ブ
ザ
ー
:自吸式呼吸器
:緊急警報
S
H2ボンベ
(警報)
電子ビームリソグラフィ
(局所化学修飾装置)
ICP-RIE
エキシマ
照射装置 スパッタ装置
(SPF332H)
S
消火栓
屋外窒素発生器
S
シャワー
前室
デシケータ
廃液保管棚
Miniscope
プラズマ表面処理 及イオンコータ
装置 EVG810
ホットエンボス
EVG520
超
精
密
天
秤
精
密 デジタル
天 マイクロスコープ
秤
測
長
顕
微
鏡
中和装置
O2 ボンベ
エア
ガス保管庫
更衣室
スプレーコーター
EVG101
酸素濃度センサ
液化窒素供給設備
:CR酸素濃度表示
Ar ボンベ
ダムウエーター
N2 ボンベ
コンプレッサ
地震監視システム
監視モニタ
COE/NFD事務室
スパッタ装置
(SPC350)
監視モニター
酸欠警報BOX
遠方操作盤
連動操作盤
薬品庫
定温
乾燥機
会議室
FIB
アニール炉
ボンド用アライナ
(ナノインプリント)
EVG620
ブラシ付メガソニック洗浄装置
EVG301
ドラフト
アルカリ フッ酸
酸
有機
2m
2006.3.2現在
:消火栓
:消化器
2F 装置配置図
:CR酸素濃度表示
S
:自吸式呼吸器
緊急シャワー
:緊急警報
警
報
ブ
ザ
ー
201
走査プローブ
顕微鏡
多目的
実験台
202
超精密天秤
多目的実験
スペース
テンコール
薬
品
庫
フッ酸
人材育成電
メガソニック 解メッキ装置
WYCO
グロー放電装置
洗浄槽
有機
アルカリ
磁気工学測定装置
量子干渉型磁束計
ド
ラ
フ
ト
分光光
度計
ド
ラ
フ
ト
超純水製造装置
流し
メッキ装置
酸
ド
ラ
フ
ト
ナ
ノ
メ
ッ
キ
シ
ス
テ
ム
蛍光観察装置
ダムウエーター
汎用SEM
ボンダ、ダイボンダー
A
有機
B
電気特性計測 冷蔵庫
薄膜物性
評価装置
SEM前処理装置
ド
ラ
フ
ト
CVメータ
ESCA
FE-SEM
CMP研磨システム
CMP-1 純水生成
卓上用
装置
C
アルカリ
CMP-2
薬
品
庫
共通薬品庫
ダイシングソー
薬
品
庫
アルカリ
薬品庫
酸
消耗品棚
電気化学
プロセスルーム
精密天秤
DMFC関連装置
CCD
顕微鏡
205
203
電気化学
薬品保管
プロセスルーム 冷蔵庫
ナノ
計測ルーム
AFM装置
204
流し
イ
オ
ン
コ
微分干渉 ー
タ
顕微鏡
半導体パラメータ
アナライザー
プローバ
給湯器
流し
恒温プローバ
2m
2006.3.2現在
共
通
薬
品
、
廃
液
一
時
保
管
庫
変更履歴
06.3.2の変更
1F-CR……エキシマ照射装置、卓上SEM(Miniscope)及びイオンコータを追加。プラズマICPをICP-RIEに名称改正。
2F-202……メッキ装置関連機器を電解メッキ装置(人材育成)に変更。CCD顕微鏡を表示。分光光度計を追加。
2006.3.2現在
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