LXeプロトタイプ実験システム
・LXe 1-2L対応
・高純度Xeガスをゲッターで超高純度に
・パルス管冷凍機で液化、保持
・ダイアフラムポンプによるガス循環精製
0.75m3
バッファタンク
‘製作中)
Xeガスハンドリングパネル
・配管はSUS-BA管
・VCR継手
・自動溶接
・サエスゲッター
・ダイアフラムポンプ
・半導体クリーン仕様部品
等、組込み済み
・0.75m3のバッファタンク
・チェンバーへの配管
・温度センサー、液面検出装置
・LabVIEWモニターシステム
等を準備中
・3月24日の週にチェンバーとつなぎ
試運転(キセノン液化、保持、回収)
の予定
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研究課題名:レーザープ