1.特









徴
自動キャリブレーション
あらゆるカメラ向きに対応
様々な軸テーブルに対応
軸テーブルと直接接続して制御する
(モーションユニット内蔵)
一回目から高精度アライメント
完成度の高いアライメントソフトが
内蔵されており、装置の稼動が早い
モニター画面を見ながら、簡単に操作
選べるサーチ手法
高速処理
自動Calibration
FAST特許

説明:カメラの取り付け位置を自動的に高精
度検出する機能
Calibration基準:
検出基準Markの位置(図)UVWテーブル:
白い→モーター停止 水色→モーター動作
+:テーブルの中心
Calibration操作
X方向シフト
Y方向シフト
-θ回転
マーク中心
+θ回転
+θ回転
マーク中心
-θ回転
あらゆるカメラ向きに対応
光軸向き不問
光軸周りの回転不問
光軸の傾き不問
視野の違い不問
位置不問
1~4台
様々な軸テーブルに対応
XYθテーブル
UVWテーブル
X1
Y2
X2
Xθ+Yテーブル
Y1
4軸テーブル
4軸テーブル特徴
X1
Y2
X2
Y1

全方向で高剛性を保持

テーブル高精度移動

新アルゴリズムを搭載
軸テーブルを直接制御
(モニター)
カメラ&レンズ
(PLC)
FValigne
r
XPe/P
3-800
UN
T
トラック
ボール
(FV-aligner-UNT)
モータ
ドライバ
(4軸ステージ)
2.LCD 液晶パネルの応用事例
 液晶画面断面図
シール剤
ガラス基板Ⅰ
Ⅱ
ガ
ラ
ス
基
板
カラーフィルター
電
極
フレキシブル基板
液 晶
液晶画面
2.1
露光機
UVランプ
- 工
程 -
1.ステージにガラス基板を供給
カ
メ
ラ
マスク
2.ターゲットとなるマークを検出
3.アライメント
4.最終精度を確認
5.UV照射して露光
ガラス基板
ステージ
6.ガラス基板を排出
板
2.2
ガラス貼合機
- 工
ガラス基板
程 -
吸着ヘッド
1.ガラス基盤のマークをカメラ
視野に入れる
2.ターゲットとなるマークを検出
3.ステージにガラス基板Ⅰを供給
4.ガラス基板Ⅰのマークを検出&
ステージ
アライメント
5.ガラス基板ⅠⅡを貼り合わせ
6.ガラス基板ⅠⅡを排出
2.3
点灯検査機
- 工
程 -
1.ターゲットとなるマークを検出
2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に
検査機
供給
3.ガラス基板ⅠⅡのマークを検出
&アライメント
4.点灯検査
ガラス基板ⅠⅡ
ガラス基板
ステージ
5.ステージからガラス基板ⅠⅡを
排出
2.4
ACF貼合機
- 工
程 -
1.サンプルガラス基板のアライメントマークをターゲット
4.導電性テープを貼り付け
2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に供給
3.アライメントマークを検出&アライメント 5.ガラス基板①②を排出
加熱加圧ヘッド
ガラス基板ⅠⅡ
ステージ
導電性テープ
2.5
その他
 シール剤塗布機
 ダイジングカット機
 スクリーン印刷機
 FPC貼付機
 基盤穴明機
 COGマウント
3.
システム構成例
FV-aligner-ENG
FV-aligner-UNT
・位置合わせに必要な数値だけ ・画像認識から移動量をパルス
を出力する画像処理エンジン
数に換算し、軸制御までを実
施
・軸制御部分は自由に構築可能
指示
カメラ
FV-aligner-ENG
指示
シーケンサ等
カメラ
FV-aligner-UNT
移動量
軸ドライバ
&
モータ
軸ドライバ
&
モータ
シーケンサ等
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