超高真空用直線・回転導入機
超高真空用直線 ・ 回転導入機
回転式直線導入機
高い耐熱性能 (最大 250℃) を備えた回転式直線導入機は、 大気側から真空側へ直線運動を与えます。 真空側は超高
真空用潤滑剤 (クライトックス) を使用したフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトは高圧 ・ 寿命特性に優れた AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空領域で使用が可能です。 直線運動量は 25mm または 50mm タイプがあります。
直線目盛 : 0.025”
回転目盛 : 0.001”
位置ロック可
真空度 : 1 x 10^-10 Torr
温度 : ~ 250℃
* オ プ シ ョ ン で DC ス テ ッ プ モ ー タ、
高トルク DC ステップモータ、 リバー
シブル AC モータ等を取付できます。
型番
RLM25-133
RLM25-275
RLM50-133
RLM50-275
RLM25-N16
RLM25-N40
RLM50-N16
RLM50-N40
フランジ
ICF34
ICF70
ICF34
ICF70
NW16
NW40
NW16
NW40
プッシュプル式直線導入機
超高真空用直線 ・ 回転導入機
プッシュブル式直線導入機は、 すばやく真空チャンバ―内で直線移動するのに最適です。 真空側は超高真空用潤滑剤
(クライトックス) を使用したフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトックスを使用したベアリングです。
シャフトは AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空領域で使用が可能です。
直線運動量は 25mm または 50mm タイプがあります。
直線目盛 : 0.025”
回転目盛 : 0.001”
位置ロック可
真空度 : 1 x 10^-10 Torr
温度 : ~ 250℃
型番
PLM25-133
PLM25-275
PLM50-133
PLM50-275
PLM25-N16
PLM25-N40
PLM50-N16
PLM50-N40
フランジ
ICF34
ICF70
ICF34
ICF70
NW16
NW40
NW16
NW40
回転式回転導入機
高トルク (最大 1.8N-m) 対応の回転式回転導入機は大気側から真空側へ回転運動を伝えます。 回転目盛は 5°、 回転
位置をロックできます。 真空側はタングステンジスフィドを使用したドライフィルムベアリング、 大気側は高温用クライトック
スを使用したベアリングです。 シャフトは AM350 ベローズでエッジ溶接されており、 超高真空用機器としてご使用いただけ
ます。 直線目盛 : 5°
位置ロック可
真空度 : 1 x 10^-10 Torr
温度 : ~ 250℃
高トルク (最大 1.8N-m) 対応
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http://www.tecsam.co.jp
TEL:072-973-4020
* オ プ シ ョ ン で DC ス テ ッ プ モ ー タ、
高トルク DC ステップモータ、 リバー
シブル AC モータ等を取付できます。
型番
RRM-133
RRM-275
RRM-N16
RRM-N40
FAX:072-973-4032
フランジ
ICF34
ICF70
NW16
NW40
超高真空用直線・回転導入機
ウォブルスティック導入機
ウォブルスティック導入機は、 真空容器に導入したスティックの先端に運動を与えます。 操作方法は基本的に手動となり、
44° ,12.7mm と 60° ,25.4mm の2種類があります。 前者は最大で水平方向に± 1/4”、 最大角度± 22° , 後者は最大で
水平方向に± 1/2”、 最大角度± 30°の範囲で任意に移動ができます。
フランジは ICF、 NW タイプがありますが、 フランジサイズによって移動範囲に制限があります。 型番
WBM44-133
WBM60-275
WBM44-N16
WBM44-N40
WBM60-N40
[ 寸法インチ ]
フランジ
ICF34
ICF70
NW16
NW40
NW40
真空度 : 1 × 10^-10 Torr
温度 : ~ 250℃
超高真空用直線 ・ 回転導入機モーターオプション
下記モーターオプションは、 左頁の導入機に取付けた状態で納入されます。
下記価格には本体側アタッチメント、 モーター側アタッチメント等が含まれています。 Option.12 高トルク DC ステップモーター Option.11 DC ステップモーター Option.21 AC モーター 超高真空用直線 ・ 回転導入機
サイズ : NEMA23 (56.4mm)
ステップ角 : 1.8°
定格電圧 : DC3.0V
定格電流 : 2.0A
静止トルク : 1.20N ‐ m
リード線 : 6 線 - L300mm
サイズ : NEMA23 (56.4mm)
ステップ角 : 1.8°
定格電圧 : DC5.0V
定格電流 : 1.0A
静止トルク : 0.53N ‐ m
リード線 : 6 線 - L300mm
Option.31 エアー式 90° アクチュエーター 定格電圧 : AC115V/60Hz
消費電力 : 7.5W
トルク : 0.85N ‐ m
回転数 : 10 rpm
リード線:4 線 (リバーシブル)
回転式回転導入機 DC ステップモーター取付イメージ モーター取付 構成イメージ 本体側アタッチメント モーター側アタッチメント http://www.tecsam.co.jp
TEL:072-973-4020
FAX:072-973-4032
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