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セキュアデバイス研究センター（客員部門） （土屋智由研究室）
ホットエンボスおよび研磨加工による可動構造を接合積層した 大変位
松田 元秀 Motohide MATSUDA Prof., Dr. Eng. 環境・エネルギー分野へ
第21回電気学会東京支部新潟支所研究発表会 With the advancement
AOGS 12th Annual Meeting で研究成果を多数発表しました（2015/8/2-7）
新聞CTP版ロングライフ処理システムの開発
PDF版
単一ドーパントシミュレーション
