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低温成長 SiC/Si ヘテロエピタキシャル薄膜の結晶構造に関する研究
課題レポート第1回目 - 岩手大学工学部 応用化学・生命工学科
プラズマCVD酸化膜における 界面制御技術
λ/4同軸線整合VHF-ECRプラズマCVDによるナノクリスタルSiGe高速成
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