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鹿児島県工業技術センター内 (72)発明者 安藤 浩毅 鹿児島県工業技術
直線性の優れたセンサ出力が得られる静電容 量型センサを提供する。
JP 2012-98056 A 2012.5.24 10 (57)【要約】 (修正有)
特 許 公 報 特許第5783382号
特 許 公 報 特許第5782598号