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Title プラズマ CVD 及びプラズマ溶射によるバリアー
半球面へのスーパーDLC 膜均一コーティング
早期BOT の功罪の決着は？
発表！2014年上半期の学会誌でもっとも多くダウンロードされた記事
『プラズマ CVD ガス挙動解析』
第3部 形態特徴別の表し方 （PDF：417KB）
化学的蒸着(CVD)の原子モデリング：シリコンオキシナイトライド
