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プラズマチーム - ミニマルファブ技術研究組合
装置筐体チーム - ミニマルファブ技術研究組合
ピエゾ抵抗式半導体圧力センサ
H25年度_特推_審査の所見_下山 勲（東京大学）
目的 ナノスケール現象のMEMS応用に関する調査専門委員
「ナノ・マイクロ加工技術のバイオ・医療応用最前線」
全天周映像による 実写ベースバーチャルスタジオを開発
常温大気中で金属同士を接合する技術 [ PDF：945KB ] 装置の大幅な
乱流制御による新機能熱流体システムの創出（PDF：19KB）
ウエハー常温接合のための表面平滑化プロセス
ナノテクノロジーによる生産技術革新に関する調査研究 【ダイジェスト版】
集積化MEMSシンポジウム、すべてのプログラムを収録した
![常温大気中で金属同士を接合する技術 [ PDF：945KB ] 装置の大幅な](http://s1.slideshowjp.com/store/data/001072821_1-fe8b1283cbe6217ad1c4a896e354b39b-260x520.png)
