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主な材料特性表
大塚セラミックス株式会社
エア式 コンパクト ダブル ダイアフラム ポンプ
アルミナ基板・アルミナジルコニア基板・窒化アルミニウム
アルミナ Al2O3 92% 3.6 15.7 340 2350 120 0.5 ∼ 0.7 >1014 20