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ECR スパッタリング法により創製した TiNi 形状記憶合金薄膜に及ぼす
原子接点数と格子不整合率が薄膜に及ぼす影響の検討
23 形状記憶合金のマイクロ切削加工技術に関する研究 （マイクロポンプ
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