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特開2002-090638

(57)【特許請求の範囲】【請求項1】を備えていることを特徴とする

(57)【特許請求の範囲】【請求項1】を備えていることを特徴とする

直線性の優れたセンサ出力が得られる静電容量型センサを提供する。

直線性の優れたセンサ出力が得られる静電容量型センサを提供する。

JP 2012-251879 A 2012.12.20 (57)【要約】【課題】90度位

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(57)【特許請求の範囲】【請求項1】加速器から発せられ入射されるX線を

(57)【特許請求の範囲】【請求項1】加速器から発せられ入射されるX線を