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4．アトミックレイヤーデポジション （ALD）装置 【仕 様】 【特 徴】
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ALD 用プラズマ発生装置の製作 - 山形大学工学部 技術部のページ
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次世代CMOSチャネル実現に向けた硬X線光電子分光によるグラフェン
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いは、電子が注入されチャネルを形成する。すなわち有機トランジスタ
