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酸化物半導体In-Ga-Zn-Oスパッタリングターゲットの開発(PDF:324KB)
などなど様々な声をいただきました。 今回のアンケートを基にこれから
第2回 知的財産特別貢献賞 細野秀雄教授が受賞!
大気圧プラズマジェットによる a
「IGZO」 様々な電子デバイスへの展開が加速
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