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試作コインランドリ主要装置リスト・料金表.
試作コインランドリのメインとなる2階クリーンルーム
装置一覧（PDF）はこちら - マイクロシステム融合研究開発センター
ナノテク融合技術支援センター 料金表
東北 学マイクロシステム融合研究開発センター 試作コインランドリ 主要
成膜（CVD、スパッタ、蒸着他）
H22/10/26 現在 10 8 スタンド類 個数 5C 100Vステージビーム(6インチ
