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試作コインランドリのメインとなる2階クリーンルーム
成膜（CVD、スパッタ、蒸着他）
試作コインランドリ主要装置リスト・料金表.
装置一覧（PDF）はこちら - マイクロシステム融合研究開発センター
ナノテク融合技術支援センター 料金表
アクションプラン - 京都府社会福祉協議会
