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デバイス製造・検査装置
日立評論 1・2月合併号：デバイス製造・検査装置
有限会社 丸之内マシーナリ
直線偏光 Nd:YAG レーザーを用いた 2 次元規則性配列微細シリコン
日立評論2013年1月号 : 電子装置・システム
As 注入と SiN 応力膜による poly-Si への歪記憶の検討
人工衛星・宇宙機の姿勢・軌道制御技術 ―実用衛星ミッションを支える
大隅 久 - 中央大学
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製造装置・検査装置（PDF：3402KB）
極薄ゲート酸化膜 poly-Si TFT の作製・評価
