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アモルファスシリコンの熱処理による結晶化に及ぼす水素添加の効果
直線偏光 Nd:YAG レーザーを用いた 2 次元規則性配列微細シリコン
幕領村の支配体制
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Title アモルファス半導体の価電子制御とその応用 Author(s) 岡本, 博明
As 注入と SiN 応力膜による poly-Si への歪記憶の検討
瞬間熱処理（フラッシュランプアニール）
2．分類と品種
デバイス製造・検査装置
平成25年度学生発未来への挑戦プロジェクト 成果
極薄ゲート酸化膜 poly-Si TFT の作製・評価
