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圧電MEMSデバイス200mmウエハープロセス [ PDF:889KB ]
扇形圧電振動子を用いた インホイール薄型マイクロ超音波モータ
誘電体および強誘電体
MEMS 技術による身体貼り付け型人体活動モニタリングシステムの研究
簡易音圧センサの研究と製作2
圧電セラミックスの繰返し電場誘起き裂進展挙動
帝人、鉛不使用の圧電材
圧電素子のご提案書
無鉛圧電セラミックスの開発
PZT(写真天頂筒)の水銀盤、水銀を発見
見る/開く
繰返し電界負荷を を受ける PZT 圧電セラミックスの劣化挙動 劣化挙動
(予備評価)報告書 - 科学技術振興機構
未来のセラミックスを考える
(理工学部電気電子情報学科) 教授竹中 正、 永田 肇
プラスチック上への薄膜転写プロセスの開発(PDF:578KB)
(2)鉛フリー圧電材料