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圧電素子のご提案書
扇形圧電振動子を用いた インホイール薄型マイクロ超音波モータ
圧電MEMSデバイス200mmウエハープロセス [ PDF：889KB ]
簡易音圧センサの研究と製作2
PZT（写真天頂筒）の水銀盤、水銀を発見
酵素固定化バイオセンサを含む 携帯型自動血液吸引 Bio
環境に優しい圧電性高分子フィルムを開発
光干渉型マイクロセンサーの試作と欠陥による受信波形特性
高圧電性を示す PZT 用バッファ層の創製及び AFM による表面観察
見る/開く
バイモルフ圧電素子における解析手法の開発
未来のセラミックスを考える
（理工学部電気電子情報学科） 教授竹中 正、 永田 肇
ナノドメインエンジニアリングによる高性能 非鉛圧電材料の開発
プラスチック上への薄膜転写プロセスの開発（PDF:578KB）
研究成果報告書 - KAKEN - 科学研究費助成事業データベース
RF-MEMS スイッチ用圧電薄膜型マイクロアクチュエータの開発
権 貴龍
12801677張云順
![圧電MEMSデバイス200mmウエハープロセス [ PDF：889KB ]](http://s1.slideshowjp.com/store/data/001639693_1-00a35737812bf462d676cd78b19d602d-260x520.png)
