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事業原簿（公開）9（6.00MB） - 新エネルギー・産業技術総合開発機構
日本物理学会 in 広島 報告レポート 相田 裕也 「発表テーマ」 電荷交換
スズドロップレットターゲットを用いた レーザー生成プラズマの挙動
「多層膜ミラーが拓いた軟 X 線結像光学」
高出力化の課題を克服しつつある 極端紫外（EUV）光源
課 題 名 極端紫外（EUV）光源開発等の先進半導体製造
4回 X 線レーザー国際会議（ICXRL 2014）
ASML が EUV 露光装置の開発状況を説明、量産導入は「10nm 世代の
プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理
位相差極端紫外光顕微鏡による機能性材料表面観察・計測技術
リソグラフィ技術の最新動向
