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（2）SiCエピ膜内の結晶欠陥評価
Ⅰ-7：高速ラマンイメージング による構造分布解析
Ⅰ-1：ナノIR ～極微小部の赤外分析～
Ⅰ-8：イオン液体を用いた 逆浸透膜のSEM観察
GaN系LEDチップの結晶性 評価と故障解析
カールフィッシャー法、 TPD-MS
オンライン濃縮キャピラリー ゾーン電気泳動法による 微量異物の分析
高分解能LC/MS/MSによる 精密質量測定
高感度CW/パルスESR装置 を用いた欠陥および 金属イオンの状態分析
（1）SiCパワー半導体関連材料 の分析
