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(1)SiCパワー半導体関連材料 の分析
近接場PL, 高空間分解能CL,紫外ラマン 顕微鏡
Ⅰ-1:ナノIR ~極微小部の赤外分析~
Ⅰ-8:イオン液体を用いた 逆浸透膜のSEM観察
カールフィッシャー法、 TPD-MS
(2)SiCエピ膜内の結晶欠陥評価
高分解能LC/MS/MSによる 精密質量測定
震災で発生したガレキは莫大な量となり、全てを埋め立て処理できるもの
Ⅰ-7:高速ラマンイメージング による構造分布解析
GaN系LEDチップの結晶性 評価と故障解析